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技术领域：本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术：图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图，图1-2 中，l为炉筒，2为保温盖，3为保温盖，4为保温材津牛，5为保温罩，6为 加热器，7为水套，8为石英埚，9为导流筒，IO为护盘，12为氩气输 入管，11为分布有孔11-1的环形气体分布器，13为排气口。名称：直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气尤其是坩埚 支持器下方的空间较大，导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出， 热能消耗量较大，另外，现有技术中，从氩气输入管向炉内充入氩气时， 充气气压为1. 3x 103pa，氩气流量为40L/min，因此其氩气消耗量大，生产 成本较高。
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放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为75～300mm，这个过程称为放肩，接着，突然提高拉速进行转肩操作，使肩部近似直角，然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度。单晶硅炉，整流柜，补偿柜，电力柜，整流柜，电源柜，高频电炉，中频电炉，电炉感应炉，单晶炉，单晶硅炉，电力锅炉，中频炉，高风炉，井式炉，熔铝炉，熔铜炉，主要产品有TDR-62B，TDR-70B，TDR-80。新建机电工程有限是国内单晶硅生长炉行业的后起之秀，自主研发了真正的全自动控制系统，产品迅速占领了IC级硅材料行业和 太阳能行业。二手单晶炉设备直拉式单晶炉设备回类主要产品有TDR80A-ZJS，TDR80B-ZJS，TDR80C-ZJS，TDR8-ZJS，TDR9-ZJS，TDR112A-ZJS。
